Item | Specification |
Material
| High Purity Monocystalline Al2O3 (≥99.996%) |
Orientation C to M | C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°; 0°± 0.1°(A-axis) |
Orientation Tolerance C to A | 0.00±0.1°
|
Primary Flat to A-plane(11-20) | A-plane ± 0.2° |
Diameter
| 50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm |
Thickness
| 420~440um, 640-660um,1300mm |
Flat Length | 16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm |
Edge profile
| R |
TTV | ≤5um |
BOW | 0~-10um
|
Warp | ≤15um |
Front Side Roughness
| <0.3nm |
LTV | ≤1.8um |
R Plane | R9 |
Back Side Roughness
| 0.8-1.2um |
Laser Mark | Back side |
Package | 25 pcs/cassette |
晶向:C向、M向、R向;單拋、雙拋;
厚度:100um、280um、300um、350um、430um、500um、650um、1mm;
闡述:藍(lán)寶石是氧化鋁的單晶,是自然界里硬度第二的材料,僅次于鉆石。藍(lán)寶石具有良好的透光性,高強(qiáng)度、抗碰撞阻力,耐磨性,抗腐蝕及抗高溫高壓,生物相容性,可以做成各種形狀的物體。是制作半導(dǎo)體光電子器件的一種理想襯底材料。
應(yīng)用:藍(lán)寶石單晶是一種優(yōu)良的多功能材料。可以廣泛應(yīng)用于工業(yè),國防和科研等多個領(lǐng)域(如耐高溫紅外窗口)。同時它也是一種用途廣泛的單晶基片材料。是當(dāng)前藍(lán)、紫、白光發(fā)光二極管(LED)和藍(lán)光激光器(LD)工業(yè)的先選基片(需要在藍(lán)寶石基片上外延氮化鎵膜層),也是重要的超導(dǎo)薄膜基片。